共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种用于晶圆加工的晶圆清洗机
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202411847272.5
申请日：
2024-12-16
公开(公告)号：
CN119812038A
公开(公告)日：
2025-04-11
发明(设计)人：
赵磊
申请人：
昆山裕磊机械设备有限公司
申请人地址：
215300 江苏省苏州市昆山市张浦镇垌坵路181号6号房
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
B08B3/12
B08B3/10
B08B13/00
代理机构：
苏州牛卫士知识产权代理有限公司 32619
代理人：
何春阳
法律状态：
专利权质押登记、变更及注销
国省代码：
江苏省
苏州市
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-12-30 | 专利权质押登记、变更及注销 | 专利权质押登记IPC(主分类):H01L 21/67登记号:Y2025980059684登记日:20251212出质人:昆山裕磊机械设备有限公司质权人:江苏银行股份有限公司苏州分行发明名称:一种用于晶圆加工的晶圆清洗机申请日:20241216授权公告日:20250715 |
| 2025-04-11 | 公开 | 公开 |
| 2025-07-15 | 授权 | 授权 |
| 2025-04-29 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20241216 |