半导体制造过程中废气处理系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510103502.5

申请日：

2025-01-22

公开(公告)号：

CN119778733A

公开(公告)日：

2025-04-08

发明(设计)人：

张桂华刘畅

申请人：

深圳市云在上半导体材料有限公司湖北云在上半导体有限公司

申请人地址：

518107 广东省深圳市光明区马田街道新庄社区大围平塘A5栋202

IPC主分类号：

F23G7/06

IPC分类号：

F23J15/02 F23J15/04 B01D47/06 B01D50/60 B01D53/18 B01D29/03

代理机构：

北京智专天权知识产权代理有限公司 16248

代理人：

苏利

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-25	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):F23G 7/06申请日:20250122
2025-04-08	公开	公开

共 50 条

[1]

废气处理装置及半导体废气处理系统 [P].

张坤 .

中国专利 :CN222076285U ,2024-11-29

[2]

适用于半导体制造设备的废气处理系统及半导体制造设备 [P].

杨春水 .

中国专利 :CN216849859U ,2022-06-28

[3]

半导体废气处理系统 [P].

宁腾飞 ;

李轩 .

中国专利 :CN115487625A ,2022-12-20

[4]

一种半导体制程废气处理系统 [P].

白晓锌 ;

彭认清 ;

蔡项勉 ;

陈瑞勇 ;

陈志达 .

中国专利 :CN222788927U ,2025-04-25

[5]

半导体废气处理系统及半导体废气处理系统的控制方法 [P].

杨春涛 .

中国专利 :CN118623326A ,2024-09-10

[6]

半导体制造过程中的决定方法 [P].

A·胡包克斯 ;

J·F·M·贝克尔斯 ;

D·J·D·戴维斯 ;

J·G·C·昆尼 ;

W·R·彭格斯 ;

A·R·戴韦尔 ;

李忠勳 ;

G·齐萝扬尼斯 ;

H·C·A·博格 ;

F·E·德荣格 ;

J·M·冈萨雷斯韦斯卡 ;

A·V·霍洛德 ;

M·皮萨连科 .

:CN113366390B ,2024-02-20

[7]

半导体制造过程中的决定方法 [P].

A·胡包克斯 ;

J·F·M·贝克尔斯 ;

D·J·D·戴维斯 ;

J·G·C·昆尼 ;

W·R·彭格斯 ;

A·R·戴韦尔 ;

李忠勳 ;

G·齐萝扬尼斯 ;

H·C·A·博格 ;

F·E·德荣格 ;

J·M·冈萨雷斯韦斯卡 ;

A·V·霍洛德 ;

M·皮萨连科 .

中国专利 :CN113366390A ,2021-09-07

[8]

黑水虻养殖过程中废气处理系统 [P].

杨焱 .

中国专利 :CN209862011U ,2019-12-31

[9]

铝成型过程中的废气处理系统 [P].

杨元龙 ;

马天军 .

中国专利 :CN204939570U ,2016-01-06

[10]

半导体制造废气的处理装置 [P].

今村启志 .

中国专利 :CN115461131B ,2024-01-16

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