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晶圆状况监控装置及半导体设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202421452514.6
申请日：
2024-06-24
公开(公告)号：
CN222705467U
公开(公告)日：
2025-04-01
发明(设计)人：
吴祥芳
杨晓攀
申请人：
芯恩（青岛）集成电路有限公司
申请人地址：
266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/677
H01L21/687
代理机构：
上海恒锐佳知识产权代理事务所(普通合伙) 31286
代理人：
黄海霞
法律状态：
授权
国省代码：
山东省
青岛市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-04-01 | 授权 | 授权 |