非晶碳层的打开处理

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980011696.9

申请日：

2019-01-28

公开(公告)号：

CN111684567B

公开(公告)日：

2025-04-11

发明(设计)人：

秦策谭忠魁毛伊莎金艳莎奥斯汀·凯西·福西特

申请人：

朗姆研究公司

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L21/02

IPC分类号：

H01L21/3065

代理机构：

上海胜康律师事务所 31263

代理人：

李献忠;邱晓敏

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-11	授权	授权

共 50 条

[1]

非晶碳层的打开处理 [P].

秦策 ;

谭忠魁 ;

毛伊莎 ;

金艳莎 ;

奥斯汀·凯西·福西特 .

中国专利 :CN111684567A ,2020-09-18

[2]

高温沉积非晶碳层的方法 [P].

马丁·杰西蒙斯 ;

尤加南德·N·萨利帕里 ;

光得·道格拉斯·李 ;

博·恒·金 ;

维斯韦斯瓦伦·西瓦拉玛克里施南 ;

温蒂·H·叶 ;

约瑟芬·汝－伟·张刘 ;

埃米尔·阿拉－巴亚提 ;

德里克·R·维迪 ;

伊沙姆·迈'萨德 .

中国专利 :CN101407909A ,2009-04-15

[3]

橡胶表面制备非晶碳薄膜的方法、非晶碳薄膜材料及用途 [P].

王永欣 ;

辛梓滟 ;

吴于涛 ;

方焕杰 .

中国专利 :CN120349555A ,2025-07-22

[4]

使用非晶硅碳罩幕蚀刻铝层的方法 [P].

瑞颖 ;

颜春 ;

欧伟凡 .

中国专利 :CN1551294A ,2004-12-01

[5]

非晶碳膜、形成非晶碳膜的方法、具有非晶碳膜的导电性部件以及燃料电池用隔板 [P].

伊关崇 ;

山田由香 ;

中西和之 ;

大岛正 ;

森广行 ;

堀江俊男 ;

铃木宪一 ;

北原学 .

中国专利 :CN101448740B ,2009-06-03

[6]

一种类金刚石非晶碳膜与类石墨非晶碳膜复合的非晶碳镀层的制备工艺 [P].

聂雄辉 ;

陈明辉 ;

黄榜 ;

侯东卫 ;

赵杰 ;

陈大力 .

中国专利 :CN120866815A ,2025-10-31

[7]

氮掺杂的非晶碳硬掩模 [P].

S·F·郑 ;

J·扬岑 ;

D·帕德希 ;

金秉宪 .

中国专利 :CN102971837A ,2013-03-13

[8]

解决在高温非晶碳沉积的厚膜沉积期间的自发电弧 [P].

许璐 ;

B·S·权 ;

V·卡尔塞卡尔 ;

V·K·普拉巴卡尔 ;

P·K·库尔施拉希萨 ;

D·H·李 ;

K·D·李 .

中国专利 :CN112041480A ,2020-12-04

[9]

改良堆迭缺陷率的非晶碳沉积方法 [P].

于航 ;

D·帕德希 ;

蔡曼平 ;

N·尤施达 ;

缪丽妍 ;

郑兆辉 ;

S·沙克 ;

朴贤秀 ;

H·L·朴 ;

B·H·金 .

中国专利 :CN102939641A ,2013-02-20

[10]

经由物理气相沉积沉积非晶硅层或碳氧化硅层的方法 [P].

伟民·郑 ;

勇·曹 ;

丹尼尔·李·迪尔 ;

慧雄·戴 ;

科伊·潘 ;

克里斯托弗·恩加伊 ;

汪荣军 ;

唐先明 .

中国专利 :CN109964303A ,2019-07-02

← 1 2 3 4 5 →