共 50 条
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薄膜の形成方法[ja]
被引：0
申请号：
JP20230146227
申请日：
2023-09-08
公开(公告)号：
JP2025039265A
公开(公告)日：
2025-03-21
发明(设计)人：
KOMOTO SHUNICHI
申请人：
AIR WATER INC
申请人地址：
IPC主分类号：
H01L21/302
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
国省代码：
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法律状态
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