一种高密度的SiC MOSFET结构及其制备工艺

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专利类型
发明
申请号
CN202510381125.1
申请日
2025-03-28
公开(公告)号
CN119907274A
公开(公告)日
2025-04-29
发明(设计)人
许一力 李鑫 刘倩倩
申请人
杭州谱析光晶半导体科技有限公司
申请人地址
310000 浙江省杭州市萧山区瓜沥镇航钱路168号3幢4层405(自主分割)
IPC主分类号
H10D30/66
IPC分类号
H10D30/01 H10D62/83 H10D62/10 H10D64/00
代理机构
北京鑫浩联德专利代理事务所(普通合伙) 11380
代理人
刘加龙
法律状态
实质审查的生效
国省代码
浙江省 杭州市
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共 50 条
[1]
一种高密度的SiC MOSFET结构及其制备工艺 [P]. 
许一力 ;
李鑫 ;
刘倩倩 .
中国专利 :CN119907274B ,2025-07-18
[2]
一种具有二阶氧化层的SiC MOSFET结构及其制备工艺 [P]. 
许一力 ;
李鑫 ;
杨琦 .
中国专利 :CN120813014B ,2025-12-23
[3]
一种具有二阶氧化层的SiC MOSFET结构及其制备工艺 [P]. 
许一力 ;
李鑫 ;
杨琦 .
中国专利 :CN120813014A ,2025-10-17
[4]
一种具有浅P+结构的SiC MOSFET器件及其制备工艺 [P]. 
许一力 ;
李鑫 ;
刘倩倩 .
中国专利 :CN119866038B ,2025-07-01
[5]
一种低导通电阻的SiC MOSFET终端结构及其制备工艺 [P]. 
许一力 ;
李鑫 ;
杨琦 .
中国专利 :CN120640743A ,2025-09-12
[6]
一种低导通电阻的SiC MOSFET终端结构及其制备工艺 [P]. 
许一力 ;
李鑫 ;
杨琦 .
中国专利 :CN120640743B ,2025-11-14
[7]
一种具有浅P+结构的SiC MOSFET器件及其制备工艺 [P]. 
许一力 ;
李鑫 ;
刘倩倩 .
中国专利 :CN119866038A ,2025-04-22
[8]
高密度MOSFET阵列及其制备方法 [P]. 
李亦衡 ;
金钟五 ;
常虹 .
中国专利 :CN104051461A ,2014-09-17
[9]
一种具备抗辐射的SiC MOSFET结构及其制备方法 [P]. 
许一力 ;
李鑫 ;
刘倩倩 .
中国专利 :CN119384023A ,2025-01-28
[10]
集成渐变应变条阵列的SiC VDMOSFET结构及其制备工艺 [P]. 
许一力 ;
李鑫 ;
杨琦 .
中国专利 :CN120825996B ,2025-12-23