一种半导体晶片上料装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN202421976797.4
申请日
2024-08-15
公开(公告)号
CN222939893U
公开(公告)日
2025-06-03
发明(设计)人
王孟良 许进
申请人
深圳天成真空技术有限公司
申请人地址
518000 广东省深圳市宝安区松岗街道潭头西部工业园区B35栋
IPC主分类号
H01L21/677
IPC分类号
代理机构
深圳市国亨知识产权代理事务所(普通合伙) 44733
代理人
李夏宏
法律状态
授权
国省代码
广东省 深圳市
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共 50 条
[1]
一种半导体晶片倒装翻料装置 [P]. 
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一种半导体上料装置结构 [P]. 
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[9]
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[10]
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