一种含氢气体的等离子处理设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510134015.5

申请日：

2025-02-07

公开(公告)号：

CN119971743A

公开(公告)日：

2025-05-13

发明(设计)人：

波波夫·谢尔盖苏博廷·德米特里苏罗夫·亚历山大塞尔巴·叶夫根尼斯波多宾·瓦伦丁波波夫·维克托纳科内奇·根纳迪尼科诺夫·阿列克谢谢锋荣磊张喆沈鸿

申请人：

中科杭龙氢能科技（广州）有限公司

申请人地址：

510000 广东省广州市增城区新塘镇创想路8号珠江国际创业中心2栋（自编B13栋）510单元

IPC主分类号：

B01D53/32

IPC分类号：

C01B3/24 C01B3/04 C01B32/05 C01B17/04

代理机构：

广州优创智燃知识产权代理事务所(普通合伙) 441134

代理人：

赖创邦;赵顺炜

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-30	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):B01D 53/32申请日:20250207
2025-12-26	授权	授权
2025-05-13	公开	公开

共 50 条

[1]

一种含氢气体的等离子处理设备 [P].

波波夫·谢尔盖 ;

苏博廷·德米特里 ;

苏罗夫·亚历山大 ;

塞尔巴·叶夫根尼 ;

斯波多宾·瓦伦丁 ;

波波夫·维克托 ;

纳科内奇·根纳迪 ;

尼科诺夫·阿列克谢 ;

谢锋 ;

荣磊 ;

张喆 ;

沈鸿 .

中国专利 :CN119971743B ,2025-12-26

[2]

等离子处理设备 [P].

曾辉 .

中国专利 :CN114203509A ,2022-03-18

[3]

等离子处理设备 [P].

蔡瀚霆 ;

匡友元 .

中国专利 :CN114360999A ,2022-04-15

[4]

等离子处理设备 [P].

吴楚辉 ;

王仲培 .

中国专利 :CN218414478U ,2023-01-31

[5]

等离子处理设备 [P].

朱鹏涛 .

中国专利 :CN222637221U ,2025-03-18

[6]

基座、等离子处理设备及等离子处理方法 [P].

深泽孝之 .

中国专利 :CN120108998A ,2025-06-06

[7]

基座、等离子处理设备及等离子处理方法 [P].

深泽孝之 .

中国专利 :CN120108998B ,2025-08-08

[8]

等离子处理设备的离子屏蔽板 [P].

田中一海 .

中国专利 :CN306562532S ,2021-05-25

[9]

一种用于等离子体处理设备的气体分流器 [P].

欧阳军 ;

刘华光 .

中国专利 :CN221434228U ,2024-07-30

[10]

一种气体喷淋头组件及其等离子体处理设备 [P].

杨金全 ;

徐朝阳 ;

倪图强 .

中国专利 :CN110942969B ,2020-03-31

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