一种分离栅半导体器件的制作方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202311708160.7
申请日
2023-12-12
公开(公告)号
CN120166725A
公开(公告)日
2025-06-17
发明(设计)人
郑磊 李雪梅 郝思迪
申请人
润西微电子(重庆)有限公司 华润微电子控股有限公司
申请人地址
401332 重庆市沙坪坝区西永大道25号D栋2楼
IPC主分类号
H10D30/01
IPC分类号
H10D62/10 H10D64/27
代理机构
上海光华专利事务所(普通合伙) 31219
代理人
刘星
法律状态
公开
国省代码
上海市 市辖区
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共 50 条
[1]
一种沟槽栅型半导体器件结构及其制作方法 [P]. 
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[2]
半导体器件的制作方法和半导体器件 [P]. 
姜春亮 ;
蔡远飞 ;
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[3]
半导体器件的制作方法 [P]. 
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[4]
半导体器件的制作方法 [P]. 
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[5]
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[6]
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[7]
一种屏蔽栅功率半导体器件及其制作方法 [P]. 
刘科科 ;
钟义栋 ;
董云 .
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[8]
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黄建伟 ;
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[9]
栅氧化层的制作方法及半导体器件的制作方法 [P]. 
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[10]
半导体器件栅极的制作方法 [P]. 
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中国专利 :CN101770944A ,2010-07-07