晶圆缺陷检测方法、装置、设备、介质及产品

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510218988.7

申请日：

2025-02-26

公开(公告)号：

CN120147260A

公开(公告)日：

2025-06-13

发明(设计)人：

陈晓航明名郭祥吉

申请人：

国科大杭州高等研究院

申请人地址：

310024 浙江省杭州市西湖区象山支弄1号

IPC主分类号：

G06T7/00

IPC分类号：

G06T7/194 G06T7/70 G06T5/70 G06T5/90 G06V10/762

代理机构：

北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250

代理人：

王兴

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

北京市市辖区

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-01	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G06T 7/00申请日:20250226
2025-06-13	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆缺陷检测方法、装置、设备、介质及产品 [P].

杨思佳 ;

郑教增 ;

张鹏黎 ;

孙刚 .

中国专利 :CN119780121B ,2025-11-21

[2]

晶圆缺陷检测方法、装置、设备、介质及产品 [P].

杨思佳 ;

郑教增 ;

张鹏黎 ;

孙刚 .

中国专利 :CN119780121A ,2025-04-08

[3]

晶圆缺陷检测方法及设备 [P].

惠家瑞 ;

仝临杰 ;

付子成 .

中国专利 :CN117630038A ,2024-03-01

[4]

一种晶圆缺陷检测装置及晶圆缺陷检测方法 [P].

阿民 ;

相宇阳 ;

俞胜武 .

中国专利 :CN121164314A ,2025-12-19

[5]

晶圆缺陷检测方法、装置、设备及存储介质 [P].

陈子健 ;

侯晓峰 ;

朱磊 ;

张弛 .

中国专利 :CN118212218A ,2024-06-18

[6]

晶圆缺陷检测设备以及晶圆缺陷检测方法 [P].

金德容 ;

吴容哲 ;

曲扬 .

中国专利 :CN115020261A ,2022-09-06

[7]

晶圆缺陷检测方法、装置、设备、存储介质和程序产品 [P].

陈志科 ;

胡辰 ;

王森 .

中国专利 :CN119904412A ,2025-04-29

[8]

晶圆缺陷检测方法及晶圆缺陷扫描装置 [P].

王曜 ;

李磊 .

中国专利 :CN119715801A ,2025-03-28

[9]

晶圆缺陷分类方法、设备、系统、存储介质及程序产品 [P].

曾柏伟 ;

任兵 ;

赵鑫源 ;

李泽文 .

中国专利 :CN119963877A ,2025-05-09

[10]

晶圆缺陷检测方法、装置、设备、存储介质及程序产品 [P].

万珣 ;

苗小明 ;

蒙亮亮 .

中国专利 :CN120300019A ,2025-07-11

← 1 2 3 4 5 →