晶圆缺陷检测方法、装置、设备、介质及产品

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202411857669.2

申请日：

2024-12-17

公开(公告)号：

CN119780121A

公开(公告)日：

2025-04-08

发明(设计)人：

杨思佳郑教增张鹏黎孙刚

申请人：

上海御微半导体技术有限公司

申请人地址：

201208 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区祖冲之路899号10幢1-4层01室

IPC主分类号：

G01N21/956

IPC分类号：

G06T7/00 G06T7/40 G06N3/0464 G06N20/00

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

李冰

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

上海市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-25	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01N 21/956申请日:20241217
2025-04-08	公开	公开
2025-11-21	授权	授权
2025-10-31	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移IPC(主分类):G01N 21/956登记生效日:20251016变更事项:申请人变更前权利人:上海御微半导体技术有限公司变更后权利人:北京御微半导体技术有限公司变更事项:国家或地区变更前权利人:中国变更后权利人:中国变更事项:地址变更前权利人:201208 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区祖冲之路899号10幢1-4层01室变更后权利人:100176 北京市通州区北京经济技术开发区凉水河一街10号院5号楼1层102室

共 50 条

[1]

晶圆缺陷检测方法、装置、设备、介质及产品 [P].

杨思佳 ;

郑教增 ;

张鹏黎 ;

孙刚 .

中国专利 :CN119780121B ,2025-11-21

[2]

晶圆缺陷检测方法、装置、设备、介质及产品 [P].

陈晓航 ;

明名 ;

郭祥吉 .

中国专利 :CN120147260A ,2025-06-13

[3]

一种晶圆缺陷检测装置及晶圆缺陷检测方法 [P].

阿民 ;

相宇阳 ;

俞胜武 .

中国专利 :CN121164314A ,2025-12-19

[4]

晶圆缺陷检测方法、装置、设备及存储介质 [P].

陈子健 ;

侯晓峰 ;

朱磊 ;

张弛 .

中国专利 :CN118212218A ,2024-06-18

[5]

晶圆缺陷检测设备以及晶圆缺陷检测方法 [P].

金德容 ;

吴容哲 ;

曲扬 .

中国专利 :CN115020261A ,2022-09-06

[6]

晶圆缺陷检测方法、装置、设备、存储介质和程序产品 [P].

陈志科 ;

胡辰 ;

王森 .

中国专利 :CN119904412A ,2025-04-29

[7]

晶圆缺陷检测方法及晶圆缺陷扫描装置 [P].

王曜 ;

李磊 .

中国专利 :CN119715801A ,2025-03-28

[8]

晶圆缺陷检测方法、装置、设备、存储介质及程序产品 [P].

万珣 ;

苗小明 ;

蒙亮亮 .

中国专利 :CN120300019A ,2025-07-11

[9]

晶圆缺陷检测方法、晶圆缺陷检测设备及其拍摄装置 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN115128099A ,2022-09-30

[10]

晶圆缺陷检测系统及晶圆缺陷检测方法 [P].

杨峰 ;

林瑶 ;

王明明 ;

韩永琪 .

中国专利 :CN120847126A ,2025-10-28

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