氮化镓外延片及其制造方法及半导体器件

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN202311523642.5
申请日
2023-11-14
公开(公告)号
CN117558745B
公开(公告)日
2025-07-25
发明(设计)人
樊永辉 许明伟 樊晓兵
申请人
深圳市汇芯通信技术有限公司
申请人地址
518037 广东省深圳市福田区华富街道莲花一村社区皇岗路5001号深业上城(南区)T2栋2701
IPC主分类号
H10D62/85
IPC分类号
H01L21/205
代理机构
北京博思佳知识产权代理有限公司 11415
代理人
孙毅俊
法律状态
授权
国省代码
广东省 深圳市
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共 50 条
[1]
氮化镓外延片及其制造方法及半导体器件 [P]. 
樊永辉 ;
许明伟 ;
樊晓兵 .
中国专利 :CN117558745A ,2024-02-13
[2]
一种氮化镓外延片及半导体器件 [P]. 
李利哲 ;
王国斌 .
中国专利 :CN217444413U ,2022-09-16
[3]
氮化镓外延层及半导体器件 [P]. 
林信南 ;
刘美华 ;
刘岩军 .
中国专利 :CN210866192U ,2020-06-26
[4]
氮化镓外延层及半导体器件 [P]. 
林信南 ;
刘美华 ;
刘岩军 .
中国专利 :CN210897292U ,2020-06-30
[5]
氮化镓半导体器件 [P]. 
陈彦良 ;
大藤彻 ;
谢明达 .
中国专利 :CN209199940U ,2019-08-02
[6]
氮化镓半导体器件及其制造方法 [P]. 
笹冈千秋 ;
小岛淳 ;
恩田正一 ;
长屋正武 ;
原一都 ;
河口大祐 .
中国专利 :CN113539808A ,2021-10-22
[7]
氮化镓半导体器件及其制造方法 [P]. 
朱廷刚 ;
布赖恩·S.·谢尔顿 ;
马莱克·K.·帕比兹 ;
马克·戈特弗里德 ;
刘琳蔺 ;
米兰·波弗里斯迪克 ;
迈克尔·墨菲 ;
理查德·A.·斯托尔 .
中国专利 :CN102751335A ,2012-10-24
[8]
氮化镓半导体器件及其制造方法 [P]. 
笹冈千秋 ;
小岛淳 ;
恩田正一 ;
长屋正武 ;
原一都 ;
河口大祐 .
日本专利 :CN113539808B ,2024-08-27
[9]
氮化镓外延层、半导体器件及所述半导体器件的制备方法 [P]. 
林信南 ;
刘美华 ;
刘岩军 .
中国专利 :CN110620158A ,2019-12-27
[10]
氮化镓外延层、半导体器件及所述半导体器件的制备方法 [P]. 
林信南 ;
刘美华 ;
刘岩军 .
中国专利 :CN110620158B ,2025-06-03