一种电子级碳化硅块基体金属杂质检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510710507.4

申请日：

2025-05-29

公开(公告)号：

CN120404896A

公开(公告)日：

2025-08-01

发明(设计)人：

刘宏超王亚萍胥丽娟张榆春朱亚琳李昊米茜成敏翟倩邝颖怡蹇毅梁栋周柯宇

申请人：

四川永祥能源科技有限公司

申请人地址：

614899 四川省乐山市五通桥区经开一路8号

IPC主分类号：

G01N27/626

IPC分类号：

G01N1/44 G01N1/34

代理机构：

成都欣圣知识产权代理有限公司 51292

代理人：

张翃森

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

四川省乐山市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-08-19	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01N 27/626申请日:20250529
2025-08-01	公开	公开

共 50 条

[1]

一种硅、碳化硅环表面金属元素含量的检测方法 [P].

苏康 ;

邓凯超 .

中国专利 :CN118655213A ,2024-09-17

[2]

一种检测碳化硅外延晶片表面痕量金属的方法 [P].

颜晓茵 ;

李浩然 ;

李锡光 .

中国专利 :CN115144459A ,2022-10-04

[3]

一种碳化硅复合材料中杂质元素含量的测定方法 [P].

张壮伟 ;

陈艳宏 ;

杨永明 .

中国专利 :CN106596701A ,2017-04-26

[4]

一种高纯碳化硅基体纯度的快速定量分析方法 [P].

陈志远 ;

孙海滨 ;

李文杰 ;

张伟 ;

张旭 ;

刘子昂 ;

张继传 .

中国专利 :CN121164404A ,2025-12-19

[5]

一种检测碳化硅中碳化硅含量的方法 [P].

徐波 ;

曹静华 ;

刘涛 ;

杨碧英 ;

郭享平 ;

张献义 .

中国专利 :CN103822841A ,2014-05-28

[6]

一种电子级硫酸中ppt级金属杂质含量测定 [P].

胡丹 ;

鹿燕 ;

廖上富 ;

石瑞瑞 ;

叶涛 ;

韩延刚 .

中国专利 :CN118090880A ,2024-05-28

[7]

一种碳化硅位错检测方法 [P].

邓辉 ;

张翊 .

中国专利 :CN109270065A ,2019-01-25

[8]

一种碳化硅生产用碳化硅块破碎装置 [P].

张成荣 ;

刘江华 ;

刘冠华 ;

王义庆 .

中国专利 :CN211612867U ,2020-10-02

[9]

一种碳化硅生产用碳化硅块破碎装置 [P].

高勇 .

中国专利 :CN216419574U ,2022-05-03

[10]

一种碳化硅生产用碳化硅块破碎装置 [P].

周锐 ;

赵永军 .

中国专利 :CN221310812U ,2024-07-12

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