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半导体零件的超声水洗烘干设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202511103489.X
申请日：
2025-08-07
公开(公告)号：
CN120613297A
公开(公告)日：
2025-09-09
发明(设计)人：
张桂华
刘畅
伊小念
刘锦豪
申请人：
深圳市云在上半导体材料有限公司
湖南湘芯新材料有限公司
申请人地址：
518106 广东省深圳市光明区马田街道新庄社区大围平塘A5栋202
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
B08B3/12
B08B3/04
B08B3/08
代理机构：
北京智专天权知识产权代理有限公司 16248
代理人：
苏利
法律状态：
发明专利申请公布后的撤回
国省代码：
河南省
郑州市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-09-23 | 发明专利申请公布后的撤回 | 发明专利申请公布后的撤回IPC(主分类):H01L 21/67申请公布日:20250909 |
| 2025-09-09 | 公开 | 公开 |