晶圆上料装置及清洗机

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510792190.3

申请日：

2025-06-13

公开(公告)号：

CN120319705B

公开(公告)日：

2025-09-12

发明(设计)人：

谢龙辉张杭军张江水王凯靳韶波赵文杰

申请人：

杭州中为光电技术有限公司浙江求是半导体设备有限公司浙江晶盛机电股份有限公司

申请人地址：

311103 浙江省杭州市临平区余杭经济技术开发区顺达路500号1幢201室

IPC主分类号：

H01L21/677

IPC分类号：

H01L21/67

代理机构：

杭州钤韬知识产权代理事务所(普通合伙) 33329

代理人：

许红平

法律状态：

授权

国省代码：

浙江省杭州市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-12	授权	授权
2025-08-01	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/677申请日:20250613
2025-07-15	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆上料装置及清洗机 [P].

谢龙辉 ;

张杭军 ;

张江水 ;

王凯 ;

靳韶波 ;

赵文杰 .

中国专利 :CN120319705A ,2025-07-15

[2]

晶圆清洗机 [P].

张杭军 ;

张江水 ;

王凯 ;

靳韶波 ;

刘明潇 ;

赵文杰 .

中国专利 :CN120325616B ,2025-09-12

[3]

晶圆清洗机 [P].

张杭军 ;

张江水 ;

王凯 ;

靳韶波 ;

刘明潇 ;

赵文杰 .

中国专利 :CN120325616A ,2025-07-18

[4]

晶圆清洗装置及晶圆清洗机 [P].

赵学彬 ;

吴仪 .

中国专利 :CN111790663A ,2020-10-20

[5]

晶圆清洗机 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222790111U ,2025-04-25

[6]

晶圆清洗机 [P].

林楚龙 .

中国专利 :CN202146879U ,2012-02-22

[7]

晶圆上料装置、晶圆上料方法及晶圆清洗设备 [P].

赵宝君 ;

祝福生 ;

王文丽 ;

张富聪 ;

安稳鹏 .

中国专利 :CN110190013A ,2019-08-30

[8]

一种晶圆盒清洗机的上料装置 [P].

郑国绍 ;

梁小龙 ;

曾志家 .

中国专利 :CN223066145U ,2025-07-04

[9]

晶圆清洗机和晶圆清洗方法 [P].

邹静 .

中国专利 :CN120319692A ,2025-07-15

[10]

晶圆清洗方法及晶圆清洗机 [P].

周鑫 ;

孙志超 ;

李禹佟 ;

李政 .

中国专利 :CN117912935A ,2024-04-19

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