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抗蚀剂下层膜形成用组合物
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202480012661.8
申请日：
2024-02-15
公开(公告)号：
CN120641829A
公开(公告)日：
2025-09-12
发明(设计)人：
光武祐希
德永光
申请人：
日产化学株式会社
申请人地址：
日本
IPC主分类号：
G03F7/11
IPC分类号：
G03F7/20
G03F7/26
G03F7/40
G03F7/42
H01L21/027
代理机构：
北京市中咨律师事务所 11247
代理人：
马妮楠;段承恩
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-09-30 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):G03F 7/11申请日:20240215 |
| 2025-09-12 | 公开 | 公开 |