非晶硅薄膜的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410367037.1

申请日：

2024-03-28

公开(公告)号：

CN120719282A

公开(公告)日：

2025-09-30

发明(设计)人：

杨远成

申请人：

东莞新科技术研究开发有限公司

申请人地址：

523087 广东省东莞市南城区宏远工业区

IPC主分类号：

C23C16/50

IPC分类号：

C23C16/24 C23C16/02 C23C16/56

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

杨嘉怡

法律状态：

公开

国省代码：

山东省青岛市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-09-30	公开	公开

共 50 条

[1]

制备非晶硅薄膜的方法 [P].

宋利娟 .

中国专利 :CN110970287B ,2020-04-07

[2]

氢化非晶硅薄膜制备方法 [P].

周耐根 ;

罗耀榕 ;

周浪 ;

黄海宾 .

中国专利 :CN109545656A ,2019-03-29

[3]

非晶硅薄膜成膜方法 [P].

刘善善 ;

朱黎敏 ;

朱兴旺 .

中国专利 :CN107464743A ,2017-12-12

[4]

非晶硅薄膜成膜方法 [P].

刘善善 ;

朱黎敏 ;

朱兴旺 .

中国专利 :CN107919272A ,2018-04-17

[5]

非晶硅薄膜的处理方法 [P].

李沅民 ;

马昕 .

中国专利 :CN101235490A ,2008-08-06

[6]

一种制备非晶硅薄膜的方法 [P].

贾锐 ;

陈晨 ;

李维龙 ;

刘明 ;

叶甜春 .

中国专利 :CN101928918A ,2010-12-29

[7]

非晶硅薄膜太阳电池的制备方法及非晶硅薄膜太阳电池 [P].

刘石勇 ;

牛新伟 ;

李旺 ;

朱登华 ;

刘路 ;

王仕鹏 ;

黄海燕 ;

陆川 .

中国专利 :CN104465894A ,2015-03-25

[8]

非晶硅薄膜转晶硅薄膜专用设备 [P].

范继良 .

中国专利 :CN221900025U ,2024-10-25

[9]

非晶硅薄膜转晶硅薄膜专用设备 [P].

范继良 .

中国专利 :CN117577741A ,2024-02-20

[10]

非晶硅薄膜形成方法 [P].

朱黎敏 ;

陆涵蔚 ;

华光平 ;

徐云 ;

张博 .

中国专利 :CN113506721A ,2021-10-15

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