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清洗装置及刻蚀设备
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202422738982.6
申请日：
2024-11-11
公开(公告)号：
CN223414043U
公开(公告)日：
2025-10-03
发明(设计)人：
张照康
秦嘉豪
申请人：
芯联先锋集成电路制造（绍兴）有限公司
申请人地址：
312000 浙江省绍兴市越城区皋埠街道临江路518号-17
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/68
代理机构：
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人：
周耀君
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-10-03 | 授权 | 授权 |