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晶圆处理装置及晶圆处理方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202310709507.3
申请日：
2023-06-14
公开(公告)号：
CN119208181B
公开(公告)日：
2025-10-03
发明(设计)人：
左敏
申请人：
长鑫存储技术有限公司
申请人地址：
230601 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号
IPC主分类号：
H01L21/67
IPC分类号：
H01L21/677
代理机构：
代理人：
法律状态：
公开
国省代码：
安徽省
宣城市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2024-12-27 | 公开 | 公开 |
| 2025-10-03 | 授权 | 授权 |
| 2025-01-14 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/67申请日:20230614 |