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一种晶圆表面缺陷检测用多工位载台

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202520220694.3
申请日：
2025-02-12
公开(公告)号：
CN223624144U
公开(公告)日：
2025-12-02
发明(设计)人：
吴祖森
申请人：
南阳市万杰光电有限公司
申请人地址：
473000 河南省南阳市高新区百里奚街道岗王庄路孵化园路交叉口光电孵化园D座3楼整层
IPC主分类号：
G01N21/95
IPC分类号：
G01N21/01
代理机构：
合肥恒牛御创知识产权代理事务所(普通合伙) 34327
代理人：
郑赛男
法律状态：
授权
国省代码：
江苏省 常州市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2025-12-02 授权 授权
共 50 条
[1]
晶圆表面缺陷检测系统 [P]. 
江静 ;
包峰 .
中国专利 :CN217822662U ,2022-11-15
[2]
一种晶圆表面缺陷检测装置 [P]. 
王红成 ;
黄晓园 .
中国专利 :CN223551632U ,2025-11-14
[3]
一种晶圆表面缺陷检测装置 [P]. 
黄雷 .
中国专利 :CN207540992U ,2018-06-26
[4]
一种晶圆表面缺陷检测装置 [P]. 
陈兵 ;
曹云峰 .
中国专利 :CN223346769U ,2025-09-16
[5]
一种晶圆表面缺陷检测装置 [P]. 
陈壮 ;
沈皓光 ;
迟祖超 ;
李萌珂 .
中国专利 :CN215640914U ,2022-01-25
[6]
一种晶圆表面缺陷检测装置 [P]. 
季建松 .
中国专利 :CN220508772U ,2024-02-20
[7]
一种晶圆表面缺陷检测装置及晶圆表面缺陷检测方法 [P]. 
李守龙 ;
刘建华 ;
路中升 ;
罗强 .
中国专利 :CN113358662A ,2021-09-07
[8]
一种晶圆表面缺陷智能检测装置 [P]. 
林中龙 ;
洪亚德 ;
王士奇 ;
李瑞晟 .
中国专利 :CN217774838U ,2022-11-11
[9]
一种晶圆表面缺陷智能检测设备 [P]. 
洪亚德 ;
林中龙 ;
王士奇 ;
李瑞晟 .
中国专利 :CN114939539B ,2024-03-05
[10]
一种晶圆表面缺陷智能检测设备 [P]. 
洪亚德 ;
林中龙 ;
王士奇 ;
李瑞晟 .
中国专利 :CN114939539A ,2022-08-26
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