一种玻璃盲槽侧壁粗糙度的优化加工方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511363240.2

申请日：

2025-09-23

公开(公告)号：

CN121159147A

公开(公告)日：

2025-12-19

发明(设计)人：

方小春

申请人：

武汉华日精密激光股份有限公司

申请人地址：

430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区流芳园横路1号一期配套厂房1楼（自贸区武汉片区）

IPC主分类号：

C03C15/00

IPC分类号：

C03C15/02

代理机构：

北京汇泽知识产权代理有限公司 11228

代理人：

吴俣

法律状态：

公开

国省代码：

湖北省武汉市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-19	公开	公开

共 50 条

[1]

玻璃通孔侧壁粗糙度的优化方法 [P].

张继华 ;

蔡星周 ;

李勇 ;

李山 ;

刘金旭 ;

方针 ;

傅觉锋 ;

张柏川 ;

陈宏伟 .

中国专利 :CN119581331A ,2025-03-07

[2]

改善沟槽侧壁粗糙度的方法 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN119581323A ,2025-03-07

[3]

一种密封槽粗糙度加工方法 [P].

曹立国 ;

杨翔 .

中国专利 :CN102229038B ,2011-11-02

[4]

表面粗糙度评价方法、表面粗糙度评价装置以及玻璃基板 [P].

高桥祐之 ;

大野和宏 ;

中塚弘树 ;

奥隼人 .

中国专利 :CN107532877A ,2018-01-02

[5]

改善浅沟槽隔离侧壁粗糙度的方法 [P].

张振兴 ;

奚裴 .

中国专利 :CN102148184A ,2011-08-10

[6]

一种改善深硅刻蚀侧壁粗糙度的方法 [P].

许开东 .

中国专利 :CN107611027A ,2018-01-19

[7]

改善多晶硅侧壁粗糙度的制备方法 [P].

李士颜 ;

刘昊 ;

何志强 .

中国专利 :CN108231537A ,2018-06-29

[8]

一种用于玻璃基板粗糙度检测工装 [P].

谢宁 ;

侯静 ;

刘姣 .

中国专利 :CN119469047A ,2025-02-18

[9]

一种降低硅基光波导侧壁粗糙度的方法 [P].

王桂磊 ;

张严波 ;

亨利·雷德森 ;

李俊峰 ;

赵超 .

中国专利 :CN107132617B ,2017-09-05

[10]

粗糙度优化方法及装置 [P].

林岳明 .

中国专利 :CN119596633A ,2025-03-11

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