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一种金属互连结构平行测试结构及其形成方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202111530743.6
申请日：
2021-12-15
公开(公告)号：
CN116264215B
公开(公告)日：
2025-12-12
发明(设计)人：
谢飞
江滢
汤玉捷
申请人：
中芯国际集成电路制造（深圳）有限公司
中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请人地址：
518000 广东省深圳市坪山新区出口加工区高芯路18号
IPC主分类号：
H01L23/544
IPC分类号：
H01L21/768
代理机构：
北京市一法律师事务所 11654
代理人：
刘荣娟
法律状态：
授权
国省代码：
上海市
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-12-12 | 授权 | 授权 |