一种碳化硅晶圆翘曲的修复方法以及碳化硅晶圆

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511696858.0

申请日：

2025-11-19

公开(公告)号：

CN121156831A

公开(公告)日：

2025-12-19

发明(设计)人：

卢海彬浩瀚赵新田余胜军张万林覃振堂韦严吴思波胡玲艳张能杨水艳沈梦涵

申请人：

宁波阿尔法半导体有限公司

申请人地址：

315300 浙江省宁波市慈溪市周巷镇周西公路1999-9号

IPC主分类号：

B24B1/00

IPC分类号：

B24B7/22 B24B29/02 B24B49/00 B24B49/16

代理机构：

宁波甬心合创知识产权代理有限公司 33552

代理人：

糜婧;郑哲

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-19	公开	公开

共 50 条

[1]

碳化硅晶圆和碳化硅晶圆的氧化方法 [P].

林秀岩 ;

曹力力 ;

陈伟 ;

张永熙 ;

袁志巧 .

中国专利 :CN120322001A ,2025-07-15

[2]

碳化硅晶圆切割方法 [P].

刘舟 ;

陆明 ;

吴霞芳 ;

黄小龙 ;

吴华安 ;

王太保 ;

高鹏 ;

盛辉 ;

张凯 ;

周学慧 .

中国专利 :CN115555732A ,2023-01-03

[3]

一种监控碳化硅晶圆翘曲的方法 [P].

李辉斌 ;

陈慧 ;

邱舜国 ;

周天彪 ;

钟泳生 .

中国专利 :CN119008440A ,2024-11-22

[4]

碳化硅晶圆片的制备方法和碳化硅晶圆片 [P].

贺冠中 .

中国专利 :CN107723797A ,2018-02-23

[5]

一种碳化硅晶圆衬底的制备方法及碳化硅晶圆衬底 [P].

黄兴 .

中国专利 :CN118969603A ,2024-11-15

[6]

一种碳化硅晶圆 [P].

张行富 ;

宣丽英 ;

潘胜浆 .

中国专利 :CN216773241U ,2022-06-17

[7]

一种参数转化方法、碳化硅晶圆定向方法以及碳化硅晶圆注入方法 [P].

黄丽 ;

原野 ;

王贺 ;

陈思哲 .

中国专利 :CN119089083A ,2024-12-06

[8]

一种参数转化方法、碳化硅晶圆定向方法以及碳化硅晶圆注入方法 [P].

黄丽 ;

原野 ;

王贺 ;

陈思哲 .

中国专利 :CN119089083B ,2025-12-16

[9]

碳化硅晶圆的加工方法 [P].

曹力力 ;

许云丁 ;

陈伟 ;

张永熙 ;

袁志巧 .

中国专利 :CN120015616A ,2025-05-16

[10]

碳化硅晶圆的制造方法 [P].

陈金泓 ;

颜弘昕 .

中国专利 :CN120613259A ,2025-09-09

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