INVESTIGATION OF PASSIVATION MECHANISM IN SILICON SURFACES BY ELECTRON-SPIN RESONANCE

被引:31
作者
SHIOTA, I [1 ]
MIYAMOTO, N [1 ]
NISHIZAWA, J [1 ]
机构
[1] TOHOKU UNIV, RES INST ELECT COMMUN, SENDAI, JAPAN
关键词
D O I
10.1016/0039-6028(73)90391-9
中图分类号
O64 [物理化学(理论化学)、化学物理学];
学科分类号
070304 ; 081704 ;
摘要
引用
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页码:414 / 429
页数:16
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