CHEMICAL AND STRUCTURAL EFFECTS ON THE LUBRICATION PROPERTIES OF SPUTTERED MOS2 FILMS

被引:145
作者
FLEISCHAUER, PD
BAUER, R
机构
来源
TRIBOLOGY TRANSACTIONS | 1988年 / 31卷 / 02期
关键词
D O I
10.1080/10402008808981819
中图分类号
TH [机械、仪表工业];
学科分类号
0802 ;
摘要
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页码:239 / 250
页数:12
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