EFFECT OF INTERFACIAL STRESS AT THE SI-SIO2 INTERFACE ON THE DIFFUSION OF GA IN SI THROUGH SIO2

被引:4
作者
JAIN, GC
CHAKRAVARTY, BC
PRASAD, A
机构
来源
PHYSICA STATUS SOLIDI A-APPLIED RESEARCH | 1981年 / 64卷 / 02期
关键词
D O I
10.1002/pssa.2210640210
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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页码:485 / 491
页数:7
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