METALORGANIC CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION

被引:43
作者
MILLER, LM [1 ]
COLEMAN, JJ [1 ]
机构
[1] UNIV ILLINOIS,DEPT ELECT ENGN,URBANA,IL 61801
来源
CRC CRITICAL REVIEWS IN SOLID STATE AND MATERIALS SCIENCES | 1988年 / 15卷 / 01期
关键词
D O I
10.1080/10408438808244623
中图分类号
O469 [凝聚态物理学];
学科分类号
070205 ;
摘要
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