ELECTRICAL CHARACTERIZATION OF MICRO DEFECTS IN SILICON CRYSTAL

被引:4
作者
IKUTA, K
MATSUOKA, Y
TAKAOKA, H
机构
关键词
D O I
10.7567/JJAPS.19S1.621
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
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页数:5
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