ON THE FORMATION OF BN FILMS BY ION-BEAM AND VAPOR-DEPOSITION

被引:20
作者
ANDOH, Y
OGATA, K
KAMIJO, E
机构
关键词
D O I
10.1016/0168-583X(88)90658-1
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
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页码:678 / 680
页数:3
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