LOW-ENERGY SPUTTERING YIELD OF (111) AND (111BAR) FACES OF GAAS

被引：7

作者：

COOPER, CB ^{[1
]}

HART, RG ^{[1
]}

RILEY, JC ^{[1
]}

机构：

[1] UNIV DELAWARE,PHYS DEPT,NEWARK,DE 19711

来源：

关键词：

D O I：

10.1063/1.1662120

中图分类号：

O59 [应用物理学];

学科分类号：

摘要：

引用

页码：5183 / 5184

页数：2

共 7 条

[1] ATOM EJECTION STUDIES FOR SPUTTERING OF SEMICONDUCTORS [J].

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COMAS, J ;

COOPER, CB .

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COOPER, CB .

COMAS, J ;

COOPER, CB .

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