LASER-INDUCED OXIDATION OF SILICON

被引:24
作者
BOYD, IW [1 ]
WILSON, JIB [1 ]
WEST, JL [1 ]
机构
[1] HUGHES MICROELECTR LTD,GLENROTHES,FIFE,SCOTLAND
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(81)90658-1
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
引用
收藏
页码:L173 / L176
页数:4
相关论文
共 12 条