MEMS惯性技术的研究与应用综述

被引：9

作者：

李丹东

严小军

张承亮

机构：

[1] 北京航天控制仪器研究所

来源：

导航与控制 | 2009年 / 8卷 / 02期

关键词：

微机电系统; 惯性仪表; 惯性系统;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH-39 [机电一体化];

学科分类号：

082801 [农业机械化工程];

摘要：

MEMS技术是惯性技术未来主要的发展方向之一,本文介绍了国内外MEMS惯性仪表与系统的研究与应用概况,研究内容与关键技术,以及发展趋势。

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页码：60 / 78

页数：19

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