MEMS微加速度计在振动环境下的可靠性研究

被引：9

作者：

杨江涛 ^{[1
,2
]}

马喜宏 ^{[1
,2
]}

邬琦 ^{[3
]}

机构：

[1] 中北大学电子测试技术国家重点实验室

[2] 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室

[3] 中北大学计算机与控制工程学院

来源：

电子器件 | 2015年 / 38卷 / 02期

关键词：

MEMS微加速度计; 失效模式; 可靠性; ANSYS仿真;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH824.4 [];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

由于微加速度计的可靠性成为其产品商业化过程中的一个重要问题,而冲击断裂是导致其性能失效的主要原因。主要研究了压阻式微加速度计在振动环境下的可靠性问题。设计了微加速度计在振动环境下的可靠性试验并通过ANSYS进行仿真。经过分析得出微加速度计在振动环境下的主要失效模式,并进行了相应的失效机理分析。通过可靠性实验进行了验证,对微加速度计在振动环境下的可靠性进行评估,并描绘了其可靠度与失效概率曲线。

引用

页码：396 / 401

页数：6

共 8 条

[1] 温湿度环境下高量程加速度计可靠性研究 [J].