MEMS微加速度计在振动环境下的可靠性研究

被引:9
作者
杨江涛 [1 ,2 ]
马喜宏 [1 ,2 ]
邬琦 [3 ]
机构
[1] 中北大学电子测试技术国家重点实验室
[2] 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
[3] 中北大学计算机与控制工程学院
关键词
MEMS微加速度计; 失效模式; 可靠性; ANSYS仿真;
D O I
暂无
中图分类号
TH824.4 [];
学科分类号
摘要
由于微加速度计的可靠性成为其产品商业化过程中的一个重要问题,而冲击断裂是导致其性能失效的主要原因。主要研究了压阻式微加速度计在振动环境下的可靠性问题。设计了微加速度计在振动环境下的可靠性试验并通过ANSYS进行仿真。经过分析得出微加速度计在振动环境下的主要失效模式,并进行了相应的失效机理分析。通过可靠性实验进行了验证,对微加速度计在振动环境下的可靠性进行评估,并描绘了其可靠度与失效概率曲线。
引用
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