共 8 条
MEMS微加速度计在振动环境下的可靠性研究
被引:9
作者:
杨江涛
[1
,2
]
马喜宏
[1
,2
]
邬琦
[3
]
机构:
[1] 中北大学电子测试技术国家重点实验室
[2] 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
[3] 中北大学计算机与控制工程学院
来源:
关键词:
MEMS微加速度计;
失效模式;
可靠性;
ANSYS仿真;
D O I:
暂无
中图分类号:
TH824.4 [];
学科分类号:
摘要:
由于微加速度计的可靠性成为其产品商业化过程中的一个重要问题,而冲击断裂是导致其性能失效的主要原因。主要研究了压阻式微加速度计在振动环境下的可靠性问题。设计了微加速度计在振动环境下的可靠性试验并通过ANSYS进行仿真。经过分析得出微加速度计在振动环境下的主要失效模式,并进行了相应的失效机理分析。通过可靠性实验进行了验证,对微加速度计在振动环境下的可靠性进行评估,并描绘了其可靠度与失效概率曲线。
引用
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页码:396 / 401
页数:6
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