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微电子机械系统(MEMS)及其应用的研究
被引：11
作者：
徐小云
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机构: 上海交通大学信息检测技术及仪器系
颜国正
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机构: 上海交通大学信息检测技术及仪器系
丁国清
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机构: 上海交通大学信息检测技术及仪器系
机构：
[1] 上海交通大学信息检测技术及仪器系
来源：
关键词：
微电子机械系统;
军事应用;
微机械;
D O I：
10.19708/j.ckjs.2002.08.001
中图分类号：
TH703 [结构];
学科分类号：
摘要：
微型机电系统技术是一个新兴的技术领域。本文介绍了微电子机械系统 (MEMS)的特点和关键技术 ,讨论了MEMS的应用 ,并阐述了MEMS的发展趋势
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