30.4 nm波长处Mg基多层膜反射镜

被引：4

作者：

白亮

朱京涛

徐敬

黄秋实

吴文娟

王晓强

王占山

陈玲燕

机构：

[1] 同济大学精密光学工程技术研究所物理系

来源：

光学学报 | 2009年 / 29卷 / 09期

关键词：

薄膜光学; 多层膜; 磁控溅射; 极紫外; He-Ⅱ谱线; 反射率;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484.41 [];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

太阳光谱中重要的He-Ⅱ谱线（波长30.4 nm）的观测对于研究太阳活动和日地空间环境具有重要意义,实现空间极紫外太阳观测需要采用多层膜作为反射元件。研究了工作在30.4 nm的Mg基多层膜。以反射率最高为评价函数设计了多层膜,采用直流磁控溅射技术制备了SiC/Mg,B4C/Mg和C/Mg多层膜,用X射线衍射仪测量了多层膜的结构。研究表明虽然B4C/Mg多层膜理论反射率最高,但实际制备结果显示,SiC/Mg多层膜的成膜质量最好,反射率最高。同步辐射反射率测量表明:在入射角10°时实测的SiC/Mg多层膜反射率为44.6%。

引用

页码：2615 / 2618

页数：4

共 10 条

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