SOI微加速度传感器结构设计与工艺实现

被引：2

作者：

徐春晓 ^{[1
,2
]}

房立清 ^{[1
]}

周新伟 ^{[1
]}

机构：

[1] 军械工程学院火炮工程系

[2] 部队

来源：

微细加工技术 | 2008年 / 06期

关键词：

高温; 抗冲击; 微加速度传感器; SOI;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

设计了一种基于SOI技术的压阻式抗冲击微加速度计,解决了电阻在高温时产生漏电流问题,有效扩展了其温度应用范围。设计方案合理应用光刻I、CP刻蚀等先进技术使其工艺得到实现。研究为下步耐高温压阻式传感器的制作提供了依据。

引用

页码：26 / 27+64 +64

页数：3

共 5 条

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