ELLIPSOMETRIC STUDY OF SURFACE TREATMENTS CARRIED OUT ON (100) INP INSIDE A VPE REACTOR

被引:20
作者
GAUTARD, D
LAPORTE, JL
CADORET, M
PARISET, C
机构
关键词
D O I
10.1016/0022-0248(85)90052-1
中图分类号
O7 [晶体学];
学科分类号
0702 ; 070205 ; 0703 ; 080501 ;
摘要
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页码:125 / 135
页数:11
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