POINT-DEFECT YIELD MODEL FOR WAFER SCALE INTEGRATION

被引:14
作者
KETCHEN, MB
机构
来源
IEEE CIRCUITS & DEVICES | 1985年 / 1卷 / 04期
关键词
D O I
10.1109/MCD.1985.6311990
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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页数:11
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