ROUGHNESS EFFECT UPON OXYGEN-ADSORPTION ON SI(100) SURFACES

被引:12
作者
ANDRIAMANANTENASOA, I
LACHARME, JP
SEBENNE, CA
机构
来源
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A-VACUUM SURFACES AND FILMS | 1987年 / 5卷 / 04期
关键词
D O I
10.1116/1.574339
中图分类号
TB3 [工程材料学];
学科分类号
0805 ; 080502 ;
摘要
引用
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页码:902 / 905
页数:4
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