PHOTO-IONIZATION CROSS-SECTION OF ELECTRON TRAPS IN SILICON-NITRIDE FILMS

被引:13
作者
BIBYK, SB
KAPOOR, VJ
机构
关键词
D O I
10.1063/1.328721
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
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页数:4
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