INFLUENCE OF AS-DEPOSITED FILM STRUCTURE ON (100) TEXTURE IN LASER-RECRYSTALLIZED SILICON ON FUSED QUARTZ

被引:25
作者
KIMURA, M
EGAMI, K
机构
关键词
D O I
10.1063/1.94770
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
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