MECHANISM OF ION-BEAM INDUCED MIXING OF LAYERED SOLIDS

被引:64
作者
SIGMUND, P
机构
来源
APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING | 1983年 / 30卷 / 01期
关键词
D O I
10.1007/BF00617712
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
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