APPLICATION OF THERMAL PULSE ANNEALING TO ION-IMPLANTED GAALAS/GAAS HETEROJUNCTION BIPOLAR-TRANSISTORS

被引:30
作者
ASBECK, PM
MILLER, DL
BABCOCK, EJ
KIRKPATRICK, CG
机构
关键词
D O I
10.1109/EDL.1983.25656
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
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