PROPERTIES OF ALUMINUM NITRIDE FILMS BY AN ION-BEAM AND VAPOR-DEPOSITION METHOD

被引:37
作者
OGATA, K
ANDOH, Y
KAMIJO, E
机构
关键词
D O I
10.1016/0168-583X(89)90766-0
中图分类号
TH7 [仪器、仪表];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
引用
收藏
页码:178 / 181
页数:4
相关论文
共 11 条