MOLECULAR AND ION-BEAM EPITAXY OF 3C-SIC

被引:15
作者
MIYAZAWA, T [1 ]
YOSHIDA, S [1 ]
MISAWA, S [1 ]
GONDA, S [1 ]
OHDOMARI, I [1 ]
机构
[1] WASEDA UNIV,SCH SCI & ENGN,SHINJUKU KU,TOKYO 160,JAPAN
关键词
D O I
10.1063/1.95227
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:380 / 382
页数:3
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