FABRICATION OF SUPERLATTICE STRUCTURES BY PLASMA CONTROLLED MAGNETRON SPUTTERING

被引:6
作者
HATA, T
KAMIYA, K
KAMIDE, Y
HORITA, S
机构
[1] Kanazawa Univ, Japan
关键词
D O I
10.1016/0040-6090(88)90466-X
中图分类号
T [工业技术];
学科分类号
08 ;
摘要
12
引用
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页数:7
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