HYDROGEN DEPTH PROFILES AND OPTICAL CHARACTERIZATION OF ANNEALED, PROTON-IMPLANTED N-TYPE GAAS

被引:42
作者
ZAVADA, JM
JENKINSON, HA
SARKIS, RG
WILSON, RG
机构
[1] USA,CTR ARMAMENT RES & DEV CTR,DOVER,NJ 07801
[2] HUGHES RES LABS,MALIBU,CA 90265
关键词
D O I
10.1063/1.335637
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
引用
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页码:3731 / 3734
页数:4
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