THIN-FILMS AND SOLID-PHASE REACTIONS

被引:45
作者
MAYER, JW
POATE, JM
TU, KN
机构
[1] BELL TEL LABS INC,MURRAY HILL,NJ 07974
[2] IBM CORP,THOMAS J WATSON CTR,YORKTOWN HTS,NY 10598
[3] CALTECH,PASADENA,CA 91125
关键词
D O I
10.1126/science.190.4211.228
中图分类号
O [数理科学和化学]; P [天文学、地球科学]; Q [生物科学]; N [自然科学总论];
学科分类号
07 ; 0710 ; 09 ;
摘要
引用
收藏
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页数:7
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