ELECTRON-IRRADIATION-INDUCED DIVACANCY IN LIGHTLY DOPED SILICON

被引:241
作者
EVWARAYE, AO
SUN, E
机构
[1] GE, SCHENECTADY, NY 12301 USA
[2] GEN ELECTRIC, DEPT SEMICONDUCTOR PROD, AUBURN, NY 13201 USA
关键词
D O I
10.1063/1.323260
中图分类号
O59 [应用物理学];
学科分类号
摘要
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页码:3776 / 3780
页数:5
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