THE INVERTED HORIZONTAL REACTOR - GROWTH OF UNIFORM INP AND GALNAS BY LPMOCVD

被引:23
作者
PUETZ, N
HILLIER, G
SPRINGTHORPE, AJ
机构
关键词
D O I
10.1007/BF02652122
中图分类号
TM [电工技术]; TN [电子技术、通信技术];
学科分类号
0808 ; 0809 ;
摘要
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页数:6
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